青岛日报社/观海新闻9月8日讯 近日，青岛高新区半导体产业再次传来好消息，由青岛赛尔微电子有限公司投资建设的赛尔微电子半导体设备研发制造项目、由青岛海迪克半导体科技有限公司投资建设的海迪克半导体设备研发制造项目签约落户青岛高新区，进一步为园区半导体产业强链补链、扩充产业规模。
据了解，赛尔微电子半导体设备研发制造项目落成达产后，将主要从事扩散炉和低压气相化学沉积设备的研发和生产，产品是半导体芯片等产品生产过程中必需的设备，涉及半导体产业的核心技术和国家战略，也是当前我国半导体产业被“卡脖子”的主要领域之一，国产替代前景较好，市场空间巨大。
海迪克半导体设备研发制造项目主要从事半导体行业高精度控制系统及设备的设计、制作与维护服务，产品包括扩散炉、真空炉、LED退火炉、气相化学沉积设备等设备。该项目的引进将有效补充园区半导体专用设备领域链条内容，并有效促进我国半导体设备相关领域自主可控能力提升，对于保障产业安全具有积极意义。
据悉，扩散炉、退火炉、气相化学沉积设备等均属于前道工序设备，应用于晶圆制造和部分先进封装晶圆处理环节。园区已有青岛赛瑞达电子科技有限公司实现相关设备产品的生产销售。赛尔微电子及海迪克半导体设备研发制造两个项目落地建成后，青岛高新区在半导体专用设备研发方面将初步形成产业集聚，助推半导体产业的发展。
半导体产业作为青岛高新区新一代信息技术产业的细分领域，近年来一直在逐步扩大规模，目前已形成了除晶圆制造以外包括芯片设计、封装测试、设备制造、材料方向等在内的半导体全产业链雏形。青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部负责人介绍道，根据生产流程，园区的半导体产业大致可分为设备类、材料类、设计类、制造类等。“此次引进的半导体项目，将为园区半导体设备类产业发展带来新生力量，将进一步强化产业链上下游集群效应，有效增强半导体产业的集聚力量。”
目前，青岛高新区正在积极引进半导体产业上下游企业，已经有20多家相关企业在园区集聚，比如埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司、青岛高测科技股份有限公司、青岛赛瑞达电子科技有限公司等。其中，埃地沃兹是世界500强企业阿特拉斯·科普柯集团旗下的品牌企业，在半导体真空设备干泵全球市场占有率连续多年超过50%。埃地沃兹青岛公司生产的真空泵可用于半导体制造、平板显示器制造、锂电池生产、制药、冶金以及空气处理等多种行业，真空泵年生产能力约2万台套。
青岛高新区招商部新一代信息技术产业事业部负责人表示，当前园区半导体产业已初具规模，“下一步，青岛高新区将从芯片设计、半导体设备制造、封装测试、二代和三代半导体材料生产及加工等半导体产业细分领域入手，继续扩充半导体产业储备资源。”（青岛日报/观海新闻记者 周伟）
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